绕过光刻机湖南大学教授新研究“出炉”，为芯片发展提供新思路
湖南人在上海 科技新闻 在当今科技日新月异的时代，芯片制造技术一直是各大科技公司关注的焦点，而光刻
技术则是芯片制造中最重要、最昂贵、最耗时的环节之一。因此，如何提高光刻技术的分辨率和制造速度，一直是
近日，一篇名为《超深紫外连续波激光快速刻蚀新技术及其在高分辨率图形制备中的应用》的论文，在国际知名
期刊《科学进展》上发表。这项研究由湖南大学物理与微电子科学学院博士生导师、教授赖曙光团队主持，通过超深
紫外连续波激光快速刻蚀新技术，成功实现了不使用传统光刻机，直接在材料上加工出精密微米级结构的目标。这在
芯片制造领域具有里程碑式的意义，被认为是为芯片发展提供新思路。
传统光刻技术是一种将光学系统对光遮罩上的芯片电路图案进行投影，从而在硅片表面制造出细微线路结构的工
艺，让人们可以在芯片上制造出各种复杂的器件和功能。但是由于传统光刻技术需要经过多道复杂的制造工序，并且
还存在分辨率和制造速度等问题，使得芯片的制造成本和周期都十分高昂。
赖曙光团队研究的超深紫外连续波激光快速刻蚀新技术，不仅具有比传统光刻技术更高的分辨率和制造速度，还
可以直接加工出微米级结构，简化了制造流程，降低了制造成本。这项技术的研发也被业内人士视为可提高国内半导
体产业自主研发能力的重要突破。
实际上，这项技术并非赖曙光团队第一次取得的突破。早在去年，该团队就曾成功利用超深紫外激光刻蚀技术，
在芯片上制造出“秒杀机器人”所需的微型马达，引起了业内人士的广泛关注。
赖曙光表示，目前自主芯片方面的学术和技术积累大量缺失，为了使自主芯片发展能够更快地进行，他希望自己
能够做出更多实际有用的东西来，让学生更快地成长，让中国彻底掌握芯片制造的核心技术。
事实上，随着我国在科技创新领域的不断发展，半导体行业也逐渐成为了国家战略的重要组成部分。而在半导体
行业中，芯片制造技术的研发和应用是至关重要的。作为一个拥有众多优秀科技人才和雄厚科技实力的国家，我国在
半导体制造领域的自主研发能力得到了极大的提升，但与国际先进水平相比，仍有一定差距。因此，研究和开发新型
芯片制造技术，成为了我国半导体产业必须面对的重要课题。
通过赖曙光团队的研究，我们可以看到，超深紫外连续波激光快速刻蚀新技术的问世，无疑为芯片制造技术提供
了一种新思路。它既可以减少芯片制造的成本和周期，又可以提高芯片的分辨率和制造速度，有望成为我国半导体产
业自主研发能力的重要突破口。
总之，这项超深紫外连续波激光快速刻蚀新技术的研究成果，不仅是我国半导体行业技术水平提升的重要象征，
更为我国半导体产业在技术创新和自主研发方面，指明了一条新的发展路径。相信在不久的将来，我国的半导体产
业一定会迎来更加辉煌的发展。
